Совет директоров ОАО "Роснано" принял решение о финансировании проекта по созданию первого в России промышленного производства микропорошков карбида кремния и проекта по созданию производства литографических систем с разрешением более 22 нанометров на основе принципов электронно-лучевой безмасочной литографии, говорится в материалах нанотехнологической корпорации.

Карбид кремния обладает очень высокой твердостью, уступающей лишь алмазу и нитриду бора, огнеупорностью, износостойкостью. Микропорошки карбида кремния используются для резки и шлифовки кристаллов кремния и сапфира, а также других материалов, применяемых в качестве подложек для микроэлектроники, силовой электроники и солнечных батарей.

Литография является ключевым этапом производства электронных микросхем, на данный момент она позволяет обеспечить разрешение около 32 нанометров. Безмасочная литография на основе электронно-лучевой технологии отличается меньшими габаритами оборудования и более низкими затратами на расходные материалы.

Окончательные параметры новых инвестпроектов "Роснано" будут раскрыты после подписания инвестиционного соглашения между его участниками, отмечается в материалах корпорации.

Вместе с тем "Роснано" закрывает проект по производству мультимедийных многопроцессорных систем на кристалле. Наблюдательный совет корпорации в свое время утвердил проект к финансированию, но проинвестирован он не был. Основанием для закрытия проекта стал отказ заявителя от его реализации на ранее достигнутых и согласованных условиях.

ОАО "Роснано" на 100% принадлежит государству, компания была преобразована из госкорпорации в акционерное общество в марте 2011 года.